Установка молекулярного наслаивания УМН-4П/30 2023

Установка молекулярного наслаивания УМН-4П/30 2023г.в.

▪️ В рабочем состоянии
▪️ 2023 г.в.

Технические характеристики:

• Воспроизводимый процесс: Молекулярное наслаивание
• Объем реакционной камеры: 30л
• Остаточное давление в реакционной камере во время процесса: 0,5-2 торр
• Температура покрываемого изделия во время процесса: до 250ºС
• Количество одновременно подключаемых реагентов: 4 реагента, из них 2 легкокипящие жидкости, 1 газообразный, 1 труднокипящая жидкость
• Количество линий ввода реагентов в реактор: 4 линии с 4 отдельными вводами
• Синтезируемые пленки: Al2О3, TiO2, ZnS и другие химические соединения
• Подогрев линии ввода реагента (включая баллон): до 150ºС