Установка молекулярного наслаивания УМН-4П/30 2023

Установка молекулярного наслаивания УМН-4П/30, 2023 года выпуска, находится в рабочем состоянии. Предназначена для нанесения тонких пленок химических соединений, таких как Al2O3, TiO2, ZnS и других. Оборудование позволяет работать с пластинами размером 150–200 мм, а также формировать диэлектрик Si3N4.

Технические характеристики:
- Воспроизводимый процесс: Молекулярное наслаивание
- Объем реакционной камеры: 30 л
- Остаточное давление в реакционной камере во время процесса: 0,5–2 торр
- Температура покрываемого изделия во время процесса: до 250 °С
- Количество одновременно подключаемых реагентов: 4 реагента, из них 2 легкокипящие жидкости, 1 газообразный, 1 труднокипящая жидкость
- Количество линий ввода реагентов в реактор: 4 линии с 4 отдельными вводами
- Подогрев линии ввода реагента (включая баллон): до 150 °С
- Потребляемая мощность: 15 кВт
- Габаритные размеры (ДхШхВ): 1500х740х2120 мм
В комплекте: установка молекулярного наслаивания (1 шт.), вакуумный насос (1 шт.), компрессор безмасляный (1 шт.), вакуумная ловушка (1 шт.), баллон с реагентом (2 шт.), вакуумный комплект подключения (1 шт.), пневматический комплект подключения (1 шт.).