Линия для фотолитографического производства

Автоматизированная линия химической обработки для фотолитографического производства, выпущенная под маркой «Лада-Электроника». Предназначена для выполнения процессов проявления, травления и очистки кремниевых пластин и других подложек, используемых в микроэлектронике. Обеспечивает высокую повторяемость и контроль технологических параметров.

Конструкция выполнена из коррозионно-стойких материалов, что позволяет работать с агрессивными химическими реагентами. Линия представляет собой комплексное решение для ключевых этапов фотолитографии — проявления фоторезиста и последующего травления. Спроектирована для использования в условиях лабораторий, научно-исследовательских институтов и мелкосерийного производства микроэлектронных устройств, фотошаблонов и MEMS.

Обеспечивает высокую степень автоматизации процесса, минимизируя влияние человеческого фактора и повышая выход годных изделий. Конструкция модульная, что позволяет адаптировать состав и последовательность ванн под конкретную технологическую карту. Оснащена системами точного поддержания температуры, концентрации растворов и времени обработки.